溫度監(jiān)控和質(zhì)量控制
Optris的PI 640i紅外攝像機(jī)配備了全新顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)
“電子元件的結(jié)構(gòu)越來越小,設(shè)計(jì)也非常緊湊。Optris推出適用于PI 640i紅外熱像儀的新型顯微鏡光學(xué)元件,即使用于芯片級(jí)結(jié)構(gòu),也能以高精度的幾何分辨率精確測(cè)量溫度
高溫導(dǎo)致電子元件和組件的壽命縮短。這是由于許多半導(dǎo)體材料在高溫下加速老化。例如,增加接觸電阻導(dǎo)致電氣連接不良就會(huì)造成這種情況。然而,在處理器等復(fù)雜的半導(dǎo)體元件內(nèi)部,溫度也可能升高。
在微米級(jí)別的分辨率下進(jìn)行溫度測(cè)量
搭載新型2倍放大率的MO2X顯微鏡光學(xué)元件,Optris的PI 640i紅外熱像儀現(xiàn)在甚至能夠捕捉復(fù)雜結(jié)構(gòu)的紅外圖像。
為了精確測(cè)量溫度,需要4×4像素(MFOV),因此現(xiàn)在可以測(cè)量尺寸僅為34 μm的物體。也就是說,即使是芯片級(jí)的微小結(jié)構(gòu),也能夠進(jìn)行精確分析。80 mK的熱分辨率對(duì)于該光學(xué)元件而言是相當(dāng)出色的。新型光學(xué)元件的調(diào)焦功能使其能夠在距離被測(cè)物體15 mm的范圍內(nèi)工作。
由于PI系列紅外熱像儀上的光學(xué)元件可輕松更換,因此該系統(tǒng)可以靈活用于各種測(cè)量任務(wù)。搭配隨附的帶微調(diào)功能高質(zhì)量顯微鏡支架,可輕松檢測(cè)微電子組件。紅外熱像儀的最大分辨率為640 x 480像素,幀率為32 Hz,即使提高到125 Hz,PI 640i仍能以640 x 120像素進(jìn)行成像。
交付范圍包括免許可證PIX Connect分析軟件;此外,還提供完整的軟件開發(fā)工具包(SDK)。
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